1.超級反射鏡

　　在進行高精度檢測距離或時間的時候，常會用到Fabry–Pérot干涉儀，此類反射鏡的誕生就是為了提高Fabry–Pérot干涉儀的性能，在實際使用的過程中，超級反射鏡的反射率達到99.999%。在制作的過程中采用離子束濺射（IBS）鍍膜方式，從而獲得細密而無缺陷的高質(zhì)量光學(xué)膜。由于基板和光學(xué)膜的散亂損失非常小，用其來構(gòu)建法布里-珀羅腔，可以得到非常窄的光譜帶寬和高銳度。

　　2.飛秒激光用反射鏡

　　分低分散反射鏡和負分散反射鏡兩種：

　　低分散反射鏡在脈寬100 fs以下的超短脈沖激光中使用的波長分散也可以做到很小，通過考慮波長分散、波長范圍、激光損傷閾值的優(yōu)化特殊膜系設(shè)計，可抑制多個反射鏡的反射引起的脈沖寬度變寬的影響。此類反射鏡也可用于飛秒時間分辨光譜裝置的光學(xué)系統(tǒng)或飛秒激光導(dǎo)入顯微鏡系統(tǒng)。需注意在光線以45°以外的角度入射時，可能無法做到波長分散補償；P偏光與S偏光相比，反射率變低，反射譜區(qū)變窄。

　　負分散反射鏡是用于波長分散為負的特殊反射鏡，主要用于飛秒激光諧振腔的分散補償，在諧振腔內(nèi)，使光線在諧振腔內(nèi)的兩枚負分散反射鏡之間往返數(shù)次，可以抵消諧振腔內(nèi)的波長分散。需注意在使用的過程中光線入射角度需要在0-20°之間，在其他角度入射時可能無法做到分散補償。

　　3.電介質(zhì)膜反射鏡

　　根據(jù)使用用途的不同會有差異，目前主要有強激光用電介質(zhì)反射鏡、超帶寬電介質(zhì)膜反射鏡和入射角可變激光譜線反射鏡。

　　①強激光用電介質(zhì)膜反射鏡主要適用于高功率，脈沖Nd-YAG激光或準分子激光的光學(xué)系統(tǒng)。在YAG激光器中，用作從基波（1064 nm）到4次諧波（266 nm）的反射鏡，也用作ArF（193 nm），KrF（248 nm）的準分子激光的反射鏡；

　　②超帶寬電介質(zhì)膜反射鏡，這類反射鏡在紫外譜區(qū)、可見光譜區(qū)和紅外譜區(qū)都有著高反射率，即使是在紫外和紅外譜區(qū)，也比一般金屬膜反射鏡要高；

　　③入射角可變激光譜線反射鏡，適用于邁克爾遜干涉儀或其他需要在兩面反射鏡之間反復(fù)多次反射的、入射角需要小于45°的光學(xué)系統(tǒng)中。當入射角固定時，可用的波長范圍較寬。